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第三代半導(dǎo)體人注意!3 大「精度革命」神器即將空降蘇州,解鎖 SiC 生產(chǎn)降本增效密碼!

在第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)賽道上,0.1μm 的精度誤差可能導(dǎo)致良品率暴跌 15%,單晶圓成本激增數(shù)千元!從晶體生長(zhǎng)到晶圓加工,每一道工序都在考驗(yàn)設(shè)備的精度極限。



2025年8月20-21日江蘇·蘇州中國(guó)粉體網(wǎng)主辦的第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長(zhǎng)及晶圓加工技術(shù)研討會(huì)現(xiàn)場(chǎng)復(fù)拓科學(xué)儀器(蘇州)有限公司三大殺手锏級(jí)產(chǎn)品震撼亮相,直擊行業(yè)痛點(diǎn):

✅ 膜厚測(cè)量?jī)x Premier 50:精準(zhǔn)到 Å 級(jí)的膜厚把控,告別外延層厚度不均導(dǎo)致的器件失效


✅ 光學(xué)表面形貌儀:納米級(jí)粗糙度檢測(cè),讓微缺陷無(wú)處遁形


✅ 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng):±1μm 的厚度測(cè)量精度,解決翹曲超差引發(fā)的封裝難題

🔥 三大主推產(chǎn)品,如何顛覆行業(yè)認(rèn)知?

1️⃣ 膜厚測(cè)量?jī)x Premier 50—— 外延層的「納米級(jí)標(biāo)尺」

SiC 器件性能高度依賴外延層質(zhì)量,但傳統(tǒng)測(cè)量方式誤差高達(dá) ±5%,導(dǎo)致批次性良品率不足 70%!Premier 50 憑借光譜橢偏 + 激光干涉雙技術(shù)融合,實(shí)現(xiàn):


  • 檢測(cè)精度達(dá) 1Å:可分辨原子層厚度變化,確保外延層均勻性

  • 測(cè)量速度提升 3 倍:?jiǎn)尉A檢測(cè)僅需 30 秒,適配產(chǎn)線高速需求

  • 多膜層同步分析:一次測(cè)量獲取 SiC/SiO₂/ 金屬層等 5 層以上膜厚數(shù)據(jù)



2️⃣ 光學(xué)表面形貌儀 —— 缺陷檢測(cè)的「納米顯微鏡」

SiC 晶圓表面的微小凸起或凹陷,可能造成器件擊穿電壓下降 20%!復(fù)拓這款設(shè)備搭載白光干涉 + 共聚焦復(fù)合技術(shù),做到:


  • 粗糙度檢測(cè)下限 0.1nm:精準(zhǔn)捕捉原子級(jí)臺(tái)階高度差

  • 3D 形貌實(shí)時(shí)重構(gòu):可視化呈現(xiàn)晶圓表面微觀缺陷分布

  • AI 缺陷智能分類:自動(dòng)識(shí)別劃痕、顆粒污染等 12 類常見(jiàn)缺陷




3️⃣ 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng) —— 厚度控制的「微米級(jí)衛(wèi)士」

晶圓厚度不均會(huì)導(dǎo)致封裝應(yīng)力集中,引發(fā)芯片失效!該系統(tǒng)采用多光束共焦測(cè)量技術(shù),實(shí)現(xiàn):


  • ±1μm 厚度測(cè)量精度:全晶圓 2000 + 點(diǎn)位快速掃描

  • 翹曲度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè):同步輸出 TTV(總厚度變化)、局部厚度等 6 項(xiàng)關(guān)鍵參數(shù)

  • 邊緣盲區(qū)檢測(cè):攻克傳統(tǒng)設(shè)備難以測(cè)量的晶圓邊緣區(qū)域


📢 參會(huì)即享「三重硬核福利」,錯(cuò)過(guò)再等一年!

1️⃣ 零距離技術(shù)體驗(yàn):現(xiàn)場(chǎng)操作三大設(shè)備,實(shí)測(cè)自家樣品數(shù)據(jù)(限前 20 名預(yù)約)


2️⃣ 定制化解決方案:復(fù)拓專家團(tuán)隊(duì)一對(duì)一診斷產(chǎn)線精度問(wèn)題,出具優(yōu)化報(bào)告


3️⃣ 展會(huì)專屬優(yōu)惠:現(xiàn)場(chǎng)簽約設(shè)備享折扣 + 年度校準(zhǔn)服務(wù)


碳化硅器件成本每降低 10%,市場(chǎng)份額就能提升 20%!這是一場(chǎng)關(guān)乎企業(yè)未來(lái) 5 年競(jìng)爭(zhēng)力的技術(shù)博弈?,F(xiàn)在掃碼聯(lián)系會(huì)務(wù)組鎖定席位!



會(huì)務(wù)組緊急通道

📞 段經(jīng)理:13810445572(微信同號(hào),備注「復(fù)拓」優(yōu)先對(duì)接)

📩 郵箱:duanwanwan@cnpowder.com

📍 坐標(biāo):蘇州·白金漢爵大酒店(8 月 20-21 日 9:00-17:00)

2025高端金屬粉體制備與應(yīng)用技術(shù)大會(huì)

2025高端金屬粉體制備與應(yīng)用技術(shù)大會(huì)

地點(diǎn):

時(shí)間:2025/07/17 - 2025/07/17

2022第六屆全國(guó)石英大會(huì)暨展覽會(huì)

2022第六屆全國(guó)石英大會(huì)暨展覽會(huì)

地點(diǎn):徐州

時(shí)間:2022/11/22 - 2022/11/23