張保國 教授
| 專家姓名: | 張保國 | 職務: | ||
| 職稱: | 教授 | 專業(yè)類別: | ||
| 研究方向： | ||||
1. 大規(guī)模集成電路20-14nm技術節(jié)點的化學機械平坦化新工藝的研究 2. 化合物半導體材料表面拋光及清洗加工技術的研究 3. 倒裝LED芯片工藝中關鍵技術的研究 4. 柔性高效太陽能電池新工藝的研究 |
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| 自我介紹： | ||||
教授，博士生導師。2000年，美國內華達大學里諾分校獲工學博士學位；2000-2011年，在美國AXT，Wafer World，SVTC, Alta Devices等半導體高科技公司工作，研究方向：半導體材料（Si, Ge，GaAs, InP等）化學機械拋光和表面清洗，以及集成電路化學機械平坦化工藝（Cu, Ta, W, SiO2等）, 擔任高級工程師。2011-2013年，在江蘇省創(chuàng)辦無錫納克斯半導體材料公司，擔任總經理，兼任技術總監(jiān)。2013年，加入河北工業(yè)大學電子與信息工程學院，任特聘教授。江蘇省雙創(chuàng)人才，河北省百人計劃人才，燕趙友誼獎獲得者。 學術成果：微電子技術與材料方向負責人，國際ICPT程序委員會委員、中國半導體協(xié)會平坦化技術聯(lián)盟執(zhí)行委員、中國顆粒學會顆粒制備與處理專業(yè)委員會委員，承擔河北省科技支撐項目一項。共發(fā)表包括《Applied Surface Science》、《ECS Solid State Science and Technology》、《人工晶體學報》等學術論文二十余篇。已發(fā)布及獲得知識產權專利四項。 |
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| 所在單位: | 河北工業(yè)大學 | |||
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