參考價(jià)格
面議型號(hào)
HCVD-060609-SIC品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
真空溫控精度：
±7.5~±10最高溫度：
1500額定溫度：
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臥式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）
產(chǎn)品描述：
臥式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）可用于材料的表面涂層、基體改性、復(fù)合材料制備等
應(yīng)用范圍：
外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導(dǎo)體坩堝、陶瓷基復(fù)合材料等
采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍?。?/span>
全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 參數(shù)\型號(hào) | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作區(qū)尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開(kāi)門(mén)/雙開(kāi)門(mén)；立式-上出料/下出料
爐門(mén)鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
一、會(huì)議概覽2025 年 9 月 30 日，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目“退役鋰電池整體熱解裝備與深度提鋰技術(shù)及應(yīng)用示范”2025 年年中總結(jié)會(huì)議在江西省南昌市前湖酒店召開(kāi)。此次會(huì)議由南昌航空大學(xué)牽頭組織，聯(lián)
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9月19日，首屆“湘智興湘”大會(huì)在長(zhǎng)沙舉行?；顒?dòng)以“匯聚國(guó)際高端人才，建設(shè)全球研發(fā)中心城市”為主題，海內(nèi)外專家院士，重點(diǎn)高校、科研院所及企業(yè)代表、“湘智”人才代表等300余人參會(huì)。頂立科技積極響應(yīng)大會(huì)
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