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1200℃雙管滑動(dòng)式單溫區(qū)/多溫區(qū)CVD系統(tǒng)
1200℃雙管滑動(dòng)式單溫區(qū)/多溫區(qū)CVD系統(tǒng)

參考價(jià)格

20-30萬(wàn)元

型號(hào)

1200℃雙管滑動(dòng)式單溫區(qū)/多溫區(qū)CVD系統(tǒng)

品牌

中環(huán)

產(chǎn)地

天津

樣本

暫無(wú)
天津中環(huán)電爐股份有限公司

金牌會(huì)員

|

第12年

|

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產(chǎn)品用途:

此款CVD系統(tǒng)是專(zhuān)門(mén)為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔

電極方面的研究,通過(guò)滑動(dòng)爐實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。

 

產(chǎn)品組成:

CVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開(kāi)啟式真空管式爐(可選配單溫區(qū)及雙溫區(qū))。

2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。

3.內(nèi)外雙石英管,采用真空可通氣氛雙法蘭特殊連接。

4.多路氣體流量控制系統(tǒng)(質(zhì)子流量控制器和浮子流量控制器)

5.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)     

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

產(chǎn)品獨(dú)特性

1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。

2 氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司獨(dú)有的知識(shí)產(chǎn)權(quán)**設(shè)計(jì),提高操作便捷性。

3 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

4 (電動(dòng))滑動(dòng)系統(tǒng)采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng),等程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng),因有滑動(dòng)限位功能,爐體不會(huì)發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過(guò)風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。

5 雙管真空密封法蘭,反應(yīng)氣體可以在內(nèi)外管之間發(fā)生反應(yīng),冷卻氣體可通過(guò)內(nèi)管,從而使內(nèi)管外壁溫度降低。

系統(tǒng)名稱(chēng)

1200℃雙管滑動(dòng)式單/多溫區(qū)CVD系統(tǒng)

系統(tǒng)型號(hào)

CVD-12II6SH-3Z/G

CVD-12III9SH-3Z/G

**溫度

1200℃

加熱區(qū)長(zhǎng)度

610mm

940mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

400mm

700mm

溫區(qū)

雙溫區(qū)

三溫區(qū)

石英管管徑

內(nèi)管:Φ80mm   外管:Φ100mm

額定功率

4.8Kw

7.2Kw

額定電壓

220V

380V(三相)

滑動(dòng)距離

485mm

650mm

滑動(dòng)方式

手動(dòng)滑動(dòng)/自動(dòng)滑動(dòng)(由溫度控制器自動(dòng)控制移動(dòng),當(dāng)程序完成,爐子按設(shè)定的速度滑動(dòng))

溫度控制

國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫;

控制精度

±1℃

爐管**工作溫度

<1200℃

雙管法蘭連接

采用雙法蘭雙卡箍連接可擴(kuò)展多功能,并且分別獨(dú)立對(duì)內(nèi)管和外管進(jìn)行真空和氣體流量控制.密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術(shù),在密封法蘭與管外壁間形成了密封,在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效,該密封法蘭的安裝只需在**次使用設(shè)備的時(shí)候安裝

氣體控制方式

質(zhì)量流量計(jì)

氣路數(shù)量

3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)

流量范圍

0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)定

精度

±1%F.S

響應(yīng)時(shí)間

≤4sec

工作溫度

5-45℃

工作壓力

進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

系統(tǒng)連接方式

采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x

規(guī)格

高真空

系統(tǒng)真空范圍

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

真空分子泵理論極限真空度
5x10-6Pa抽氣速率1600L/S
額定電壓220V 功率2Kw

爐體外形尺寸

480×770×605mm

410×1100×605mm

系統(tǒng)外形尺寸

530×1440×750mm(不含高真空)

系統(tǒng)總重量

340Kg

 

   

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性?xún)r(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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