氣動(dòng)高真空蝶閥

ISO-B TYPE 氣動(dòng)蝶閥

ISO-KF TYPE 氣動(dòng)蝶閥

ISO-K TYPE 氣動(dòng)蝶閥

氣動(dòng)蝶閥系統(tǒng)設(shè)置

A : Pump
B : Htc pneumatic butterfly valve
C : Process chamber
D : Gauge
E : Gas inlet

產(chǎn)品應(yīng)用

Htc氣動(dòng)高真空蝶閥是采用旋轉(zhuǎn)氣缸驅(qū)動(dòng)的真空蝶閥，密封板搭配O-ring的設(shè)計(jì)，可完全隔絕真空側(cè)與大氣側(cè)，具有快速開(kāi)閉、安裝快速、尺寸小，壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。

Htc氣動(dòng)蝶閥的密封設(shè)計(jì)，可應(yīng)用在需完全隔絶具污染及腐蝕氣體制程中。蝶閥閥門(mén)安裝于真空幫浦(pump)與制程腔室（process chamber）間。

設(shè)計(jì)特征
? 旋轉(zhuǎn)氣缸驅(qū)動(dòng)，快速開(kāi)啟關(guān)閉
? O-ring完成氣密設(shè)計(jì)
? 密封板位置指示器
? 任意安裝方向
? 高氣導(dǎo)
? 150萬(wàn)周期壽命

產(chǎn)品分類(lèi)
? KF25 / KF40 / KF50
? ISO63 / ISO100 / ISO160 / ISO200 / ISO250

Body / P late / Shaft 材質(zhì)
不銹鋼 (Stainless steel)

保固條件