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開關(guān)電源等離子處理設(shè)備：誠峰智造

真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-MC-6L

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號（Model）

CRF-VPO-MC-6L

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,12.5kw

中頻電源功率（MF Power）

2000W/40kHz

容量（Volume）

235L（Option）

層數(shù)（Electrode of plies）

6（Option）

有效處理面積（Area）

500（L）*500（W）（Option）

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選： Ar、N2、CF4、O2

產(chǎn)品特點：處理空間大，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，有效控制設(shè)備運行。

可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求。

保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制。

高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

應(yīng)用范圍：主要適用于生物醫(yī)療行業(yè)，印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

半導(dǎo)體真空電漿清洗機是一種先進的高科技設(shè)備，是利用等離子體進行清洗活化改性蝕刻，提高附著力等作用的設(shè)備，在使用時，一定要按照說明書的要求進行操作，其中有些使用方法都有哪些知識也需要了解，今天就給大家具體介紹一下。

在半導(dǎo)體真空電漿清洗機抽真空作業(yè)時，一定要使三通閥指向閉合狀態(tài)，也就是說，讓箭頭向下，然后打開真空泵的電源，看看真空泵的旋轉(zhuǎn)方向是順時針還是逆時針，如果是順時針，則正常，在檢測完畢后，再將電源關(guān)閉。

在啟動真空泵前，確保真空電漿清洗機與真空泵連接，此時等離子處于閉合狀態(tài)，啟動后等離子艙將產(chǎn)生發(fā)光。

在抽氣時，要將三通閥打開，使之與室內(nèi)空氣相通，然后在將針形閥打開時，注意要輕柔地打開，讓空氣慢慢進入真空電漿清洗機機艙內(nèi)，形成等離子體，然后再將前部的控制面板的電源打開。

在進行等離子體處理時，要根據(jù)所需時間處理好樣品，處理完成后，在RF中關(guān)閉，清洗完畢。

用半導(dǎo)體真空電漿清洗機時，可參照以上內(nèi)容進行，只有操作正確，才不會發(fā)生故障，另外，在切斷電源后，還要檢查等離子清洗機后電源邊緣保險箱內(nèi)的保險管是否正常，有無燒斷的痕跡，如果有損壞，一定要更換新的匹配的保險管。