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開(kāi)關(guān)電源等離子處理設(shè)備：誠(chéng)峰智造

真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-MC-6L

名稱(chēng)（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號(hào)（Model）

CRF-VPO-MC-6L

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,12.5kw

中頻電源功率（MF Power）

2000W/40kHz

容量（Volume）

235L（Option）

層數(shù)（Electrode of plies）

6（Option）

有效處理面積（Area）

500（L）*500（W）（Option）

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選： Ar、N2、CF4、O2

產(chǎn)品特點(diǎn)：處理空間大，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，有效控制設(shè)備運(yùn)行。

可按照客戶(hù)要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿(mǎn)足客戶(hù)的需求。

保養(yǎng)維修成本低，便于客戶(hù)成本控制。

高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持。

應(yīng)用范圍：主要適用于生物醫(yī)療行業(yè)，印制線(xiàn)路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車(chē)電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

半導(dǎo)體真空電漿清洗機(jī)是一種先進(jìn)的高科技設(shè)備，是利用等離子體進(jìn)行清洗活化改性蝕刻，提高附著力等作用的設(shè)備，在使用時(shí)，一定要按照說(shuō)明書(shū)的要求進(jìn)行操作，其中有些使用方法都有哪些知識(shí)也需要了解，今天就給大家具體介紹一下。

在半導(dǎo)體真空電漿清洗機(jī)抽真空作業(yè)時(shí)，一定要使三通閥指向閉合狀態(tài)，也就是說(shuō)，讓箭頭向下，然后打開(kāi)真空泵的電源，看看真空泵的旋轉(zhuǎn)方向是順時(shí)針還是逆時(shí)針，如果是順時(shí)針，則正常，在檢測(cè)完畢后，再將電源關(guān)閉。

在啟動(dòng)真空泵前，確保真空電漿清洗機(jī)與真空泵連接，此時(shí)等離子處于閉合狀態(tài)，啟動(dòng)后等離子艙將產(chǎn)生發(fā)光。

在抽氣時(shí)，要將三通閥打開(kāi)，使之與室內(nèi)空氣相通，然后在將針形閥打開(kāi)時(shí)，注意要輕柔地打開(kāi)，讓空氣慢慢進(jìn)入真空電漿清洗機(jī)機(jī)艙內(nèi)，形成等離子體，然后再將前部的控制面板的電源打開(kāi)。

在進(jìn)行等離子體處理時(shí)，要根據(jù)所需時(shí)間處理好樣品，處理完成后，在RF中關(guān)閉，清洗完畢。

用半導(dǎo)體真空電漿清洗機(jī)時(shí)，可參照以上內(nèi)容進(jìn)行，只有操作正確，才不會(huì)發(fā)生故障，另外，在切斷電源后，還要檢查等離子清洗機(jī)后電源邊緣保險(xiǎn)箱內(nèi)的保險(xiǎn)管是否正常，有無(wú)燒斷的痕跡，如果有損壞，一定要更換新的匹配的保險(xiǎn)管。