控制方式：
其他靶材材質：
*靶材尺寸：
*樣品倉尺寸：
*樣品臺尺寸：
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FIG-5離子槍
簡介
ULVAC-PHI Model FIG-5型離子槍是一種高效能的濺射離子槍，它可以在高真空的條件下，有效地使用5kV加速電壓。*小的離子束斑大小約為150um。此外，FIG-5型離子槍也可以工作在極低的能量范圍如10eV用作中和目的，也可在200eV低能量范圍用作濺射超薄薄膜。它可采用0-10V外置電源控制離子束的掃描。FIG-5型離子槍標準配置還包括差分抽氣口。該離子槍的全部操作采用RS-232 接口由計算機控制。
圖1 - ULVAC-PHI FIG-5型離子槍
性能規(guī)格
| 工作電壓 | ： | 0-5kV |
| **束流 | ： | ≥10uA @ 5kV Beam Voltage |
| 低壓性能 | ： | ≥12nA @ 10eV Beam Voltage |
| *小束斑 | ： | ≤200um |
| 離子源類型 | ： | 電子轟擊 |
| 發(fā)蘭接口 | ： | ICF70 |
| 工作距離 | ： | 30-70mm |
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