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高真空存桿儀
高真空存桿儀

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高真空存桿儀的極限真空度為10-6mBar,為原位樣品臺(tái)提供高真空存放環(huán)境,可清潔樣品臺(tái),避免樣品臺(tái)受到污染,尤其適用于原位樣品臺(tái)。各路存桿間相互獨(dú)立,支持隨存隨取,方便研究人員對(duì)不同樣品臺(tái)的切換,觸屏控制*多可實(shí)現(xiàn)六路樣品臺(tái)單獨(dú)存取。系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)真空度檢測(cè)及真空度智能維持及漏氣報(bào)警功能。

技術(shù)參數(shù):

1)尺寸:L*W*H=465*405*385(單位:mm),以實(shí)物尺寸為準(zhǔn)。

2)壓力范圍:0-1000mbar

3)存桿數(shù)量:四路、六路、十二路。

4)適用電鏡樣品臺(tái):FEI、JEOL、Hitachi(適配)。

5)適用原位反應(yīng)艙芯片:自組裝鍵合一體式芯片,加熱芯片,納流體芯片等。

6)極限真空小于等于1×10-6 mBar,工作的壓力范圍為10-5~10-2mBar。

7)接口模塊含控制閥門(mén),以在電源關(guān)閉時(shí)保持真空狀態(tài),或在取桿時(shí),實(shí)現(xiàn)存桿模塊氣體通入,加速樣品臺(tái)取出過(guò)程。

8)各路存桿相互獨(dú)立,存或取桿時(shí)互不影響,支持隨存隨取。

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10分

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