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YAMATO高溫無氧烘箱/厭氧高溫氣氛爐DTN系列
YAMATO高溫無氧烘箱/厭氧高溫氣氛爐DTN系列

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日本

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浚和（上海）儀器有限公司

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潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。

■特點：
● MAX工作溫度 360℃和 500℃、潔凈度 100 級、氧濃度低于20ppm，主要應用于固化半導體晶圓（光刻膠 PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內潔凈度始終保持在 100 級，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
● 高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。
● 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
● 可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調節(jié)。
● 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
■安全性：
●擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護開關等安裝裝置。
■規(guī)格：

■本體各部分的名稱和功能：

■操作面板各部位名稱和功能：

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