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KLA納米壓痕儀iNano
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iNano®納米壓痕儀可輕松測量薄膜、涂層和少量材料。 該儀器準確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。 該儀器的力荷載和位移測量動態(tài)范圍很大,因而可以實現(xiàn)從軟聚合物到金屬材料的精確和可重復測試。 模塊化選項適用于各種應用:材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損以及高溫測試。 iNano提供了一整套測試擴展選項,包括樣品加熱、連續(xù)剛度測量、NanoBlitz3D/4D屬性映射和遠程視頻選項。

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