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電子半導(dǎo)體行業(yè)制造中監(jiān)控超純水中SiO2含量
技術(shù)參數(shù)：
測(cè)量范圍：0-1000ppb SiO2或0-5000ppb SiO2， 重現(xiàn)性+0.5ppb/+2ppb
檢測(cè)極限 <0.5ppb/2ppb， 循環(huán)時(shí)間 10分鐘（每通道）
運(yùn)行壓力/溫度0.2-2bar/5-50 ºC，取樣流量15-20 L/h
通信方式：RS485，模擬輸出4-20mA
主要特點(diǎn)：
多通道操作（1-6）
運(yùn)行維護(hù)量小和極低的運(yùn)行成本
可進(jìn)行兩點(diǎn)校準(zhǔn)：化學(xué)零點(diǎn)和斜率
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