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產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀

主要特點(diǎn)

1、已通過(guò)CE認(rèn)證。

2、采用石英腔體，易于清潔和樣品的放入。

3、樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，能夠使所制薄膜達(dá)到更好的均勻性。

4、采用鎢絲作為發(fā)熱源，**溫度可達(dá)到1700℃，并配有專用的氧化鋁舟裝載樣品（僅1600oC以下使用，若蒸發(fā)溫度大于1600oC，樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中）。

5、熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測(cè)量和控制。

6、可將設(shè)備轉(zhuǎn)換到手動(dòng)調(diào)節(jié)狀態(tài)，內(nèi)部不安裝熱電偶，直接采用手動(dòng)調(diào)節(jié)輸出電流大小，發(fā)熱源溫度可達(dá)2000oC，可達(dá)到對(duì)樣品鍍碳等實(shí)驗(yàn)要求。

7、可向真空腔體中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。

8、進(jìn)氣口配有針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。

技術(shù)參數(shù)

1、電壓：AC 208V-220V 50Hz/60Hz 單相

2、**功率：500W，**電流為30A

3、真空腔體：石英腔體，直徑?6"

4、樣品臺(tái)：直徑?50mm；可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5rpm；與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm

5、**溫度：1700oC

6、熱電偶：S型熱偶，工作溫度200oC-1500oC（可選用B型熱偶，工作溫度1200oC-1700oC）

7、控溫精度：±1oC，數(shù)顯溫度控制器，可設(shè)置30段升降溫程序

8、鎢絲籃：2個(gè)

9、真空接口：KF40

10、真空計(jì)：數(shù)顯防腐真空計(jì)PCG554，測(cè)量范圍3.8×10^-5-1125torr

11、進(jìn)氣接口：1/4NPS

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：440mm×330mm×630mm

可選配件

1、機(jī)械泵（帶油污過(guò)濾器）（真空度<10^-2torr，可以蒸發(fā)貴金屬，如Au、Ag）

2、分子泵（可獲得高真空，真空度<10^-5torr，蒸發(fā)易氧化材料，如Al、Mg、Li等）

3、低真空系統(tǒng)

4、高真空系統(tǒng)

5、等離子清洗機(jī)（鍍膜前對(duì)基片進(jìn)行清洗，可獲得更好的薄膜強(qiáng)度）