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產品型號

GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設備需選配自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風裝置：不需要

主要特點

1、設有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得**鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。

5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

6、濺射頭采用Peltier制冷技術，可得到高性能、精細顆粒的涂層。

7、可用水冷濺射頭、水冷載物臺。

技術參數

1、靶：?50mm

2、真空室：?160mm×120mm

3、**真空度：≤4×10^-2mbar

4、**電流：50mA（100mA）

5、可設定*長時間：9999s

6、微型真空氣閥：連接?3mm軟管

7、**電壓：1600V DC

8、機械泵：2L/s

產品規(guī)格

尺寸：360mm×300mm×380mm

標準配件

1

金靶材

1個

2

進氣針閥

1個

3

保險絲

2個

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材