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美國SVT集中傳送室/RDC/Cluster Tool
美國SVT集中傳送室/RDC/Cluster Tool

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產(chǎn)地

美國

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美國SVTA公司中國辦事處

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集中傳送室位于各真空室中心，可以實現(xiàn)樣品在任意腔室之間傳遞。樣品可以從裝載室到各個腔室模塊，例如薄膜生長室、金屬化室、或樣品分析室。SVT可以提高以下2種配置的集中傳送室，也可以客戶訂制。

SVTA-CLM-6

  • **8''樣品

  • 含6個12'' CF法蘭端口

  • 6'' CF觀察窗

  • 2.75'' CF法蘭離子規(guī)端口

SVTA-CLM-4

  • **5''樣品

  • 含4個8''CF法蘭端口

  • 4.5''CF觀察窗

  • 2.75''CF法蘭離子規(guī)端口

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