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“狹縫涂布精密成膜裝備系統(tǒng)”是一個高端先進制造業(yè)項目，其成膜技術(shù)可在玻璃、塑料、不銹鋼等基體上精確涂布制備功能納米、微米薄膜，在許多光電領(lǐng)域，如平板顯示、觸摸屏、薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體元器件及封裝、柔性及印制電子、智能玻璃等，有著非常廣泛的應(yīng)用。

從研發(fā)用150mm平臺到6代線，為用戶提供靈活多變的配置方案。不僅用于光學(xué)膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)、OLED涂布等，還可以用于有機太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等成卷基材的涂布，也應(yīng)用于非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布。

狹縫涂布技術(shù)適用于各種涂布液，可廣泛應(yīng)用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片涂布模具相對于基片精確地運動，并精確檢測控制工藝流體及其涂布速度。

優(yōu)勢

可涂布不同粘度的各種材料

涂布厚度范圍廣泛:從20nm到150μm以上

很好的涂布一致性:通常優(yōu)于±3%

效率高/材料利用率高:材料利用率可達95%

能夠滿足不同需求：從研發(fā)到小批量試制、大量生產(chǎn)

工藝具有高的可靠性和魯棒性:良率可達到95%

適用于S2S和R2R加工模式

在一個工藝周期內(nèi)可實現(xiàn)矩形陣列的涂布加工

過程參數(shù)

涂布間隙控制：動態(tài)控制涂布頭高度 (z軸)

模具運動控制: 在涂布方向上(x軸)精確控制模具的運動軌跡(包括加速和減速參數(shù))

模具設(shè)計: 針對高一致性、化學(xué)兼容性、低充填容量和條狀涂布進行模具設(shè)計制造

涂布控制: 涂布速率(穩(wěn)態(tài)涂布) 和涂布輪廓 (前后邊緣)的高精度數(shù)字化控制

控制軟件: 所有配方參數(shù)，數(shù)據(jù)監(jiān)控和反饋控制，數(shù)據(jù)采集分析。

應(yīng)用領(lǐng)域

平板顯示

LCD， OLED， Flexible， Touch Screen

LCD， OLED， 柔性顯示， 觸摸屏

太陽能光伏

PV including CIGS， CdTe， OPV and C-Si

固態(tài)照明

OLED lighting

高附加值玻璃

可調(diào)光智能玻璃， 博物館用玻璃

半導(dǎo)體， 微機電系統(tǒng)， 無線射頻識別， 聚合物電池， 和各種有機及打印電子器件