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用途：光刻工藝后段，光刻膠固化
特點
•**工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下。
•程序運轉(zhuǎn)功能，有自動/手動兩種操作模式。
•快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。
•配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等。
•全不銹鋼材質(zhì)。
•在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。
技術(shù)規(guī)格
型號 | 潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008 | |
溫度范圍 | 室溫+30～360℃ | 室溫+50～500℃ |
溫度分布精度 | ±4.0℃（at 360℃） | ±8.0℃（a500℃） |
溫度上升時間 | 60min（室溫→360℃） | 90min（室溫→500℃） |
溫度下降時間 | 90min（360℃→50℃） | 120min（500℃→50℃） |
氧濃度 | 20ppm以下 | |
氧濃度下降時間 | 約45分鐘 | |
潔凈度 | 100級 | |
裝備 | 氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等 | |
內(nèi)尺寸 | W600×D600×H600mm | |
電源 | 3相 AC380V | |
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