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13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng) 多種用途。
特征
● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機(jī)物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除
內(nèi)槽
規(guī)格
| 型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等離子模式 | DP/RIE | ||
| 高頻電源 | 13.56MHz | ||
| 輸出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有效電極尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| 電極 | 平行平板 | 2段電極（獨(dú)立） | 平板（多目的） |
| 反應(yīng)氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝） | ||
| 真空泵（標(biāo)配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000 & 1500L/min |
| 安全裝置 | 門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等 | ||
管路連接圖
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