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S500熱式質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)在線實(shí)時(shí)地精確控制氣
流質(zhì)量流量。利用氣流流過不銹鋼毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫
差方法，而測得氣體質(zhì)量流量；不同于測壓力或測體積方法等類別流量計(jì)，其流
量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。上下游溫差測量電路信號實(shí)時(shí)反映氣流瞬
時(shí)流量，并通過PID電路實(shí)時(shí)控制比例電磁閥而精確控制流量，所以特別適用于過
程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的精確測量和控制。
☆具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
氣阻較小，工作壓力范圍寬。
☆閥體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。
線路板、閥體、彈簧片、精密電阻和電容等為重要零部件，均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。
☆可任意角度安裝。
☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合工作。
配合MT-50系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測量和計(jì)量。
執(zhí)行Q/CYHMT0001-2014 企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
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