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產(chǎn)品簡介

Instec的真空型臺式探針臺系列是可從外部移動探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

功能特點(diǎn)

桌上型溫控探針臺，占地面積小

可編程控溫，涵蓋-190℃~1000℃（具體由型號而定）

適用 10 mm ~ 300 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用

獨(dú)立的四個(gè)探針，可從設(shè)備外部移動探針進(jìn)行點(diǎn)針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

*可做定制或改動，詳詢上海恒商

溫控參數(shù)

溫度范圍

涵蓋 -190℃~1000℃（具體由型號而定）

加熱塊材質(zhì)

鋁合金 或 銀 或 陶瓷

傳感器/溫控方式

100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源）

*小加熱/制冷速度

±0.01℃/min

溫度分辨率

0.01℃ RTD傳感器

0.1℃ 熱電偶傳感器

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能

可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針

默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針 *可選其他種類探針

探針座

可從外部XYZ移動的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式，微調(diào)行程20mm

點(diǎn)針

從外部移動點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置

探針接口

默認(rèn)為BNC接頭，可選三同軸接口

樣品臺面電位

默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學(xué)參數(shù)

適用光路

反射光路

窗片

可拆卸與更替的窗片

*小物鏡工作距離

25 mm *截面圖中WD

上蓋窗片觀察

窗片范圍φ50mm，大視角±40° *截面圖中θ1

負(fù)溫下窗片除霜

吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

適用樣品

10 mm ~ 50 mm 直徑 （標(biāo)準(zhǔn)）

*可定至300mm的樣品臺面

樣品腔高

6 mm

探針座

可從外部XYZ移動的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式，微調(diào)行程20mm

氣氛控制

氣密腔，可充入保護(hù)氣體*另有真空腔型號

外殼冷卻

可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量

1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg

選型表

TP102SV-PS

溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，真空腔

HCP422V-PS

溫度范圍 -190℃ ~ 600℃（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)），真空腔

HP1000V-PS

溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，真空腔

定制型號

按客戶需求定制，適用300mm晶圓樣品