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磁控濺射技術(shù)
NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(**可加熱到700度)功能，**到6"旋轉(zhuǎn)平臺，**可支持到2個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-1000帶有10”派熱克鐘罩腔體，2個2”的磁控管，DC直流電源用于濺射金屬，并帶有膜厚監(jiān)測儀(選配)。由于NSC-1000的空間有限，我們不能在NSC-1000系統(tǒng)上提供更多的電源和磁控管。我們可以提供我們的NSC-1000系統(tǒng)，用于SEM應(yīng)用，也可以用于濺射金屬到**6”的晶圓片。
NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點：
不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
70l/s的渦輪分子泵，串接機械泵或干泵
1KW DC直流電源
晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
帶觀察視窗的腔門易于上下載片
基于LabView軟件的PC計算機控制
帶密碼保護功能的多級訪問控制
完全的安全聯(lián)鎖功能
NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)選配項：
Thickness Monitor 膜厚監(jiān)測
NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)應(yīng)用：
SEM應(yīng)用
濺射金屬，**到6"的晶圓片
暫無數(shù)據(jù)！
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