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SionTM射頻放弧探測(cè)器
SionTM射頻放弧探測(cè)器

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英福康（廣州）真空儀器有限公司

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特征概覽:

  • 非接觸式超小設(shè)計(jì)，監(jiān)測(cè)高功率射頻電源的電流及電壓傳輸
  • 方便替換傳統(tǒng)的光譜儀，準(zhǔn)確探測(cè)刻蝕工藝的終點(diǎn)
  • 監(jiān)測(cè)腔體是否刻蝕干凈及過(guò)度刻蝕，縮短刻蝕時(shí)間和降低氣體成本，提高生產(chǎn)機(jī)臺(tái)使用率
  • 高速采樣頻率，可達(dá)2萬(wàn)赫茲

應(yīng)用：

  • 用于半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽(yáng)能等行業(yè)PVD，CVD及刻蝕腔體工藝等離子體放弧探測(cè)及刻蝕終點(diǎn)探測(cè)（Endpoint）。
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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無(wú)評(píng)論！
公司動(dòng)態(tài)
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