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儀器特點(diǎn)：

◆ GOW-MAC 專(zhuān)用檢 測(cè) 技術(shù)，采用等 離 子發(fā)射光譜檢測(cè)器，可實(shí)現(xiàn) 10ppb 分辨 度。

◆可實(shí)現(xiàn)響應(yīng)快速并快速恢復(fù)狀態(tài)。

◆超量程保護(hù)，干觸點(diǎn)報(bào)警輸出。

◆無(wú)閥無(wú)柱，無(wú)放射源，無(wú)需維護(hù)

◆可選多種量程模式。

◆可選模擬或數(shù)字信號(hào)傳輸模式。

技術(shù)指標(biāo)：

●測(cè)量范圍： 0-2ppm 氦中氮 0-20ppm 氦中氮 0-200ppm 氦中氮

●準(zhǔn)確度： 0-2ppm 量程 ±0.02ppm 0-20ppm 量程 ±0.25ppm 0-200ppm 量程 ±2.50ppm

●樣品氣流量： 2scfh(0.88slpm)

●樣氣連接： 樣氣入口 1/4″ VCR; 出口 1/4″ Swagelok

●零點(diǎn)氣： 無(wú)氮氦氣

●環(huán)境溫度： 60-95 ℉（16-35℃）

●**工作壓力：樣氣入口 10psig; 測(cè)量池 6psig

●樣氣入口壓力：2-7psig

●顯示： LED 數(shù)字顯示

●輸出 : 4-20 mA；干觸點(diǎn)用于超范圍保護(hù)及量程選擇指示

●檢測(cè)器類(lèi)型 : 氦等離子體發(fā)射光譜

●靈敏度 : ±0.01ppm 氦中氮

●電源 : 100W 115/230VAC 50/60Hz

●尺寸 : 13.34 x 42.23 x 37.15cm ●重量 : 11.3kg

應(yīng)用領(lǐng)域：

■低溫槽車(chē)裝載站

■特氣實(shí)驗(yàn)室

■過(guò)程控制

■新生產(chǎn)線的證明

■氣體管理及監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

■槽車(chē)及氣瓶充裝質(zhì)量控制

■焊接氣體管理

■半導(dǎo)體生產(chǎn)