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殘余氣體分析儀
殘余氣體分析儀

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先鋒科技(香港)股份有限公司

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儀器簡介:

先鋒公司代理美國SRS公司的RGA100殘余氣體分析儀是一種可用于在線監(jiān)測的真空設(shè)備,主要用來檢測真空腔中的氣體成分和氣體濃度。其殘余氣體分析儀可以達到百萬量級的動態(tài)范圍,優(yōu)于1amu的分辨率,5×10-4Torr的探測極限,帶有分析軟件和RS232接口。優(yōu)異的性能,超高的性價比,完全滿足您真空方面的科研實驗。

技術(shù)參數(shù):

RGA殘余氣體分析儀主要參數(shù)如下:

• 100, 200 and 300 amu systems

• Better than 1 amu resolution

• 6 decades of dynamic range

• 5 × 10−14 Torr detection limit

• RGA Windows & LabVIEW software

• Field-replaceable electron multiplier and filament

• RS-232 interface

主要特點:

在真空腔內(nèi)RGA離子分化器將氣體分子電離,電離后的帶電粒子進入四極桿產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)電場內(nèi),由于不同的粒子質(zhì)量數(shù)不一樣,在一定的電場作用下所形成的偏轉(zhuǎn)半徑就不一樣。相當于我們在四極桿上加特定的電場就會有特定質(zhì)量數(shù)的離子打到探測器陽極上,探測器所產(chǎn)生的電流正比于氣體分子的濃度。進一步改變電場,就可以檢測到不同質(zhì)量數(shù)離子的濃度。之后我們再做電場掃描,就可以計算出真空腔中所含氣體的成分。

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