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BP系列雙極濺射電源主要應(yīng)用于等離子輔助薄膜沉積 PECVD 和雙陰極濺射鍍膜領(lǐng)域。以其優(yōu)良的控制算法,能夠提供穩(wěn)定可靠的雙極性輸出,并對(duì)功率、電壓、電流、頻率和脈沖時(shí)間等提供精確的輸出控制。

• • 采用模塊化設(shè)計(jì),按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)。

  • 波形和頻率靈活可調(diào)。

  • 雙極性、單極性、直流、脈沖多種模式合一。

  • 高穩(wěn)態(tài)功率輸出。輸出穩(wěn)定性 0.2%。

  • 電弧主動(dòng)抑制技術(shù)。

  • 極快的電弧響應(yīng)。

  • 極低的電弧攜帶能量。小于 0.3mJ/kw 的能量攜帶。

  • 豐富的通訊接口。

  • 控制指令的快速響應(yīng)。