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| 應用領域
應用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化鎵（GaN）等半導體材料的刷洗，同時可用于藍寶石、陶瓷、水晶等材料。
| 設備特點
? 陶瓷盤豎直清洗，可減少設備的占地面積。
? 采用超聲波清洗，可較大限度避免損傷陶瓷盤面。
? 自動上/下料系統(tǒng)及12片容量的陶瓷盤推車，可提高效率減少人工。
? 搬移機械手單獨上下移動，可增強陶瓷盤清洗效果。
| 設備參數
設備型號 | CX-BE05 | |
適應產品 | 陶瓷盤 Φ360mm | |
陶瓷盤 Φ485mm | ||
洗槽數量 | 3槽 | |
超聲波洗槽數量 | 2槽 | |
藥液洗槽數量 | 1槽 | |
洗槽循環(huán)流量 | 20L/min | |
洗槽材質 | SUS316 | |
連續(xù)作業(yè)時間 | 約3～4分鐘/盤（具體視工藝而定） | |
設備尺寸 | W4965mm * L2100mm * H2605mm | |
設備重量 | 約3000kg | |
瓷盤車容量 | 12片 | |
自動上下瓷盤 | 是 | |
水槍 | 1個 | |
搬移機械手上下 | 伺服電機+滾珠絲杠+滾動導軌 | |
搬移機械手左右 | 伺服電機+齒輪齒條+滾動導軌 | |
進盤翻轉機構 | 氣缸 | |
出盤翻轉機構 | 減速電機 | |
設備使用條件 | 電源 | AC380, 50Hz,三相四線制 |
總容量 | 70kw | |
氣源接口 | 3/4 | |
進水接口 | 3/4 | |
排水接口 | 1 +1/2 | |
排氣 | 正壓排氣5″ | |
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