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卓遠半導體運用先進工藝，以氣體注入工藝技術為核心，研發(fā)出氣休注入設備，需搭配我司 Intelligent MPCVD Diamond Growth System (IMD)系列金剛石晶體生長系統(tǒng)使用。
Intelligent Gas Injection System (IGI)系列氣體注入系統(tǒng)，采用微波電漿化學氣相沉積法(MPCVD)制備，主要用于金剛石長晶過程中的氣體注入。
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