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龍門(mén)雙驅(qū)三軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)品牌
合肥安迅產(chǎn)地
安徽樣本
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技術(shù)指標(biāo) | 數(shù)據(jù) |
有效行程 | X軸:300mm Y軸:300mm |
**速度 | X軸:1000mm/s Y軸:1000mm/s |
**加速度 | X軸:0.6G Y軸:0.6G |
重復(fù)定位精度 | X軸:±0.5μm Y軸:±1μm θ軸:±2arcsec |
直線度 | X軸:±4μm Y軸:±4μm |
行走平面度 | X軸:±5μm Y軸:±4μm |
XY正交度 | ±5μm |
**負(fù)載 | 10kg |
光柵尺分辨率 | 0.1μm |
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
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