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設備采用立式模塊化設計結構，配備多個檢修門，便于腔體獨立安裝與維護，方便組裝和日后升級;配備全封閉式凈化料架傳送系統(tǒng)，避免工件受到污染;工件可選擇單面或雙面鍍膜;主要用于沉積光學彩膜或金屬膜。設備的鍍膜室長期保持高真空狀態(tài)，雜氣少，所鍍制的膜層純凈度高，折射率好;配置了全自動Speedfo閉環(huán)控制系統(tǒng)，提高膜層沉積速率;工藝參數(shù)可追溯，生產過程實現(xiàn)全程監(jiān)控，方便追蹤生產不良;設備自動化程度高，配合機械手使用可銜接上下工序，降低人工成本。
設備可鍍制Nb205、Si02、TiO2、In、Cu、Cr、T、SUS、Ag等氧化物及單質金屬材料，主要用于金屬與光學材料疊加的光學彩膜工藝;適用于玻璃、PC、PET等材質的平面類產品，已廣泛應用于PET膜片/復合板、玻璃蓋板、顯示屏等產品。
備注:設備可根據客戶要求定制
設備采用立式模塊化設計結構，配備多個檢修門，便于腔體獨立安裝與維護，方便組裝和日后升級;配備全封閉式凈化料架傳送系統(tǒng)，避免工件受到污染;工件可選擇單面或雙面鍍膜;主要用于沉積光學彩膜或金屬膜。設備的鍍膜室長期保持高真空狀態(tài)，雜氣少，所鍍制的膜層純凈度高，折射率好;配置了全自動Speedfo閉環(huán)控制系統(tǒng)，提高膜層沉積速率;工藝參數(shù)可追溯，生產過程實現(xiàn)全程監(jiān)控，方便追蹤生產不良;設備自動化程度高，配合機械手使用可銜接上下工序，降低人工成本。
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備注:設備可根據客戶要求定制
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