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水平氧化擴(kuò)散爐品牌
華旗科技產(chǎn)地
山東樣本
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氧氣溫控精度：
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產(chǎn)品性能：
4~8寸晶圓工藝，每臺1~4/5管
恒溫區(qū)：800/1000/1250mm
溫度：200～1300℃/1350℃
全自動機(jī)械手裝卸，懸臂/軟著陸
晶圓自動倒片，完整的工廠MES系統(tǒng)對接，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標(biāo)準(zhǔn)
配套工藝：
擴(kuò)散：氣態(tài)/液態(tài)/固態(tài)源磷硼擴(kuò)散
氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL）
氮、氫退火，燒結(jié)、合金等
暫無數(shù)據(jù)！
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