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鋁腐蝕清洗機
鋁腐蝕清洗機

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型號

鋁腐蝕清洗機

品牌

山東聯(lián)盛

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無
山東聯(lián)盛電子設備有限公司

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1、機臺采用進口勞士領(lǐng)板材,長期可工作在酸腐蝕環(huán)境,堅固耐用,雙層防漏 。

2、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工藝對硅片表面腐蝕清洗的工藝設備,可清洗4“,5”,6“硅片。

3、可設計手動全自動運行設計,全自動運行方式采用兩只獨立機械臂運行,可上下提動。

4、清洗能力:4~6寸圓片,25片2籃/批

5、各工藝槽溫度可控,獨立控制。

6、各工藝槽模組化設計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中。腐蝕槽設計底部排風,降低排風量。

7、工藝槽可設計提動動作,清洗更快更徹底。

8、控制部分采用進口品牌PLC 和HM ;

9、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側(cè)。

1、機臺采用進口勞士領(lǐng)板材,長期可工作在酸腐蝕環(huán)境,堅固耐用,雙層防漏 。

2、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工藝對硅片表面腐蝕清洗的工藝設備,可清洗4“,5”,6“硅片。

3、可設計手動全自動運行設計,全自動運行方式采用兩只獨立機械臂運行,可上下提動。

4、清洗能力:4~6寸圓片,25片2籃/批

5、各工藝槽溫度可控,獨立控制。

6、各工藝槽模組化設計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中。腐蝕槽設計底部排風,降低排風量。

7、工藝槽可設計提動動作,清洗更快更徹底。

8、控制部分采用進口品牌PLC 和HM ;

9、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側(cè)。

10、設備設計標準按半導體行業(yè)標準(SEMI-S2-93)執(zhí)行,ISO9001質(zhì)量管理體系進行規(guī)范和保證。


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