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碳化硅感應生長爐
設計優(yōu)點
1、滿足6吋/8吋晶體生長;
2、一鍵智能啟動，減少人工干預，利于規(guī)?；a;
3、PVT-MF-50型碳化硅感應式長晶爐適用于生長高質量六吋碳化硅單晶、高純度碳化硅原料合成、晶體退火等領域。
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