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Pioneer-ONE：飛秒激光時域熱反射測量系統(tǒng)（TDTR）

Pioneer-ONE系列飛秒激光時域熱反射測量系統(tǒng)（TDTR）可用于研究各種多層膜結(jié)構(gòu)熱物性，包括納米薄膜材料和液體材料的熱導率、熱容；固-固材料界面、固-液材料界面，微結(jié)構(gòu)界面熱導；及各種微結(jié)構(gòu)熱物性等

特點與優(yōu)勢

多參數(shù)擬合

多頻擬合選件

敏感度分析功能

不確定性分析功能

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  圖2 六種基底材料與Al傳感層組成的兩層結(jié)構(gòu)樣品的相位差信號和幅值信號及佳擬合曲線

  數(shù)據(jù)結(jié)果顯示，AlN和SrTiO3基底與Al傳感層之間的界面熱導均接近110 MW/m2K，

  其他四種常見基底材料與Al傳感層之間的界面熱導的數(shù)值分布在140–200 MW/m2K中。

  
  

  圖3 六種基底材料熱導率的測量值與文獻報道值的對比