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高低溫細(xì)絲爐體,磷擴(kuò)硼擴(kuò)工業(yè)爐
高低溫細(xì)絲爐體,磷擴(kuò)硼擴(kuò)工業(yè)爐

參考價(jià)格

90-100萬元

型號

F高低溫細(xì)絲爐體

品牌

福雪萊

產(chǎn)地

浙江

樣本

【下載】
福雪萊冷暖設(shè)備(東莞)有限公司

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第4年

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    ±1℃
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    400℃~1100℃
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    其他
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    其他
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高低溫細(xì)絲爐體,硼擴(kuò)磷擴(kuò)工業(yè)爐主要用作半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁產(chǎn)品的加熱裝置??膳c美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號擴(kuò)散爐配套(替代進(jìn)口),采用的加工工藝,選用進(jìn)口材料,制作而成。可用于2-8英寸硅片的擴(kuò)散工藝。
爐體為擴(kuò)散爐提供熱能源。高溫細(xì)絲爐體低溫,磷擴(kuò)硼擴(kuò)工業(yè)爐


詳細(xì)介紹

   


高低溫細(xì)絲爐體,硼擴(kuò)磷擴(kuò)工業(yè)爐主要用作半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁產(chǎn)品的加熱裝置??膳c美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號擴(kuò)散爐配套(替代進(jìn)口),采用guo外xian進(jìn)的加工工藝,選用進(jìn)口材料,制作而成??捎糜?-8英寸硅片的擴(kuò)散工藝。
爐體為擴(kuò)散爐提供熱能源
       高溫細(xì)絲爐體低溫,磷擴(kuò)硼擴(kuò)工業(yè)爐擴(kuò)散爐主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行摻雜,即將元素磷、硼擴(kuò)散入硅片,從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布,以便建立起不同的電特性區(qū)域。
      同時還會在硅片表面生長一層二氧化硅膜,起到保護(hù)硅晶體的作用。而高溫細(xì)絲爐體低溫,磷擴(kuò)硼擴(kuò)工業(yè)爐爐體作為擴(kuò)散爐溫區(qū)控制核心部件,在爐體運(yùn)行中起到至關(guān)重要的作用。

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      同時還會在硅片表面生長一層二氧化硅膜,起到保護(hù)硅晶體的作用。而高溫細(xì)絲爐體低溫,磷擴(kuò)硼擴(kuò)工業(yè)爐爐體作為擴(kuò)散爐溫區(qū)控制核心部件,在爐體運(yùn)行中起到至關(guān)重要的作用。


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