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面議型號
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)品牌
科冪產(chǎn)地
安徽樣本
暫無非金屬電熱元件:
硅鉬棒金屬電熱元件:
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛:
其他溫控精度:
±1℃最高溫度:
1150℃額定溫度:
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高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);
可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長溫度更低。
項目 | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 |
**溫度 | 1150℃(短期) | |
額定溫度 | 1100℃ | |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加熱區(qū)長度 | 220mm | |
恒溫區(qū)長度 | 80mm | |
加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲 | |
額定功率 | 3KW | |
供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制) | |
射頻電源 | 射頻功:5-500W; 射頻頻:13.56MHz; 匹配方式:自動匹配 | |
真空系統(tǒng) | 雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等) | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm |
暫無數(shù)據(jù)!
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