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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

參考價格

面議

型號

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

品牌

科冪

產(chǎn)地

安徽

樣本

暫無
安徽科冪儀器有限公司

金牌會員

|

第6年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    硅鉬棒
  • 金屬電熱元件:

    鐵鉻鋁絲
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1150℃
  • 額定溫度:

    1100℃
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產(chǎn)品特點

高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);

可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長溫度更低。

 

技術(shù)參數(shù)

項目型號TFE - 1200 - 50 - 220
**溫度1150℃(短期)
額定溫度1100℃
推薦升溫速率≤10℃/min
控制精度±1℃
爐管尺寸Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸Φ80*220mm
加熱區(qū)長度220mm
恒溫區(qū)長度80mm
加熱元件優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲
額定功率3KW
供氣系統(tǒng)

三路高精度MFC

量程0-500sccm(可定制)

射頻電源

射頻功:5-500W;

射頻頻:13.56MHz;

匹配方式:自動匹配

真空系統(tǒng)雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)
外形尺寸1250*510*810mm

 


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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