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AJA從1991年成立以來(lái)已經(jīng)研發(fā)了上百種不同類(lèi)型的磁控濺射靶，其中包括許多定制化濺射靶。根據(jù)基片幾何形狀、腔室結(jié)構(gòu)、靶材材料組成和薄膜規(guī)格的不同需求可選擇不同型號(hào)濺射靶，如矩形，圓形，塔式和圓柱形獨(dú)特的模塊磁鐵組合·獨(dú)有的模塊化磁鐵組合，磁鐵完全和冷卻水隔離，因而不會(huì)造成磁鐵的劣化，進(jìn)而導(dǎo)致濺射靶源性能的衰減。此種設(shè)計(jì)可以方便用戶(hù)接觸內(nèi)部磁鐵組合，便于靶槍的維護(hù)和清潔:
工作于平衡磁控狀態(tài)
**化靶材利用率
進(jìn)行高或低濺射速率
工作于多種非平衡磁控態(tài)
進(jìn)行均勻性或者有意為之的不均勻性沉積
到達(dá)基片表面的高或低電子能量
濺射較厚的磁性靶材
方便更換或拆卸磁性靶材
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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