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臥式真空擴(kuò)散爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 根據(jù)客戶操作可定左/右手操作 |
2 | 管路數(shù) | 1-4管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-8寸 |
4 | 適用工藝 | 擴(kuò)散（鎵擴(kuò)）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金 |
5 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有自動(dòng)校準(zhǔn)溫區(qū)功能，具有預(yù)先寫(xiě)入偏差值快速拉溫區(qū)功能（選配） |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級(jí)控溫 |
7 | 控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 一體工控機(jī)+PLC |
8 | 系統(tǒng)極限真空度 | ＜10Pa |
9 | 工作壓力范圍 | 100Pa-10Pa可調(diào) |
10 | 報(bào)警保護(hù) | 具有超溫報(bào)警，斷偶報(bào)警，氣體互鎖，氣體緩啟動(dòng)等功能 |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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