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鈮（鉭）酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備品牌
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產(chǎn)品介紹
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備(NOVA-2000-LN)，是用于鈮酸鋰、鉭酸鋰等襯底晶圓的缺陷檢測(cè)設(shè)備，可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工藝類型，可檢出顆粒物、劃痕、凹坑、凸起、崩邊、裂紋等缺陷，對(duì)晶圓的質(zhì)量控制具有重要作用。
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備(NOVA-2000-LN)集成明場(chǎng)、暗場(chǎng)等多種檢測(cè)模式，對(duì)各類缺陷提供可靠的缺陷信息，結(jié)合缺陷自動(dòng)檢測(cè)與分類算法，提取包括缺陷類型、尺寸、坐標(biāo)、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等在內(nèi)的各頂缺陷數(shù)據(jù)，生成晶圓缺陷檢測(cè)報(bào)告，供用戶進(jìn)行質(zhì)量評(píng)估和判定。
| 鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備 | |
| 型號(hào) | NOVA-2000-LN/LT |
| 晶圓類型 | 鈮(鉭)酸鋰拋光襯底，黑化、半黑化、全透明等 |
| 晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸 |
檢測(cè)方式 | 明場(chǎng)、暗場(chǎng) |
| 產(chǎn)率 | ≥20WPH(@6英寸晶圓，分辨率1μm) |
| ≥12WPH(@8英寸晶圓，分辨率1μm) | |
| 自動(dòng)化 | 2 LoadPort |
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