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碳化硅陶瓷載盤
碳化硅陶瓷載盤

參考價(jià)格

面議

型號

碳化硅陶瓷載盤

品牌

晶沐光電

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
江陰晶沐光電新材料有限公司

高級會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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碳化硅陶瓷載盤

厚度

0.75mm

直徑

156mm

氣孔徑

<5 μm

雙面平面度

≤15 μm

TTV

≤3 μm,5點(diǎn)量測

平行度

≤15 μm

翹曲度要求

90℃- 250℃ 宏觀目視不翹曲變形

密度

1.8~2.4 g/cm3

氣孔率

30%-50%

抗折強(qiáng)度

≤65 Mpa

熱膨脹系數(shù)

7.5 (10-6/℃)

透氣性要求

空吸:真空度≥ -30 Kpa
放置Wafer 在 SIC載盤上:真空度 ≤-60 Kpa

外觀

1.全周去毛邊,銳角倒鈍
2.無缺角
3.刮傷:W≤0.03mm&L≤3mm,N≤2


創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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