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光學缺陷檢測設備——WSD系列品牌
睿勵科學產(chǎn)地
上海樣本
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WSD系列產(chǎn)品是睿勵科學儀器(上海)有限公司自主研發(fā)、生產(chǎn)的全自動晶圓外觀缺陷檢測設備。
設備的基本檢測原理是利用光學系統(tǒng)成像、通過圖像分析的方式來捕抓并分類各種晶圓表面的缺陷。
該系列產(chǎn)品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型號產(chǎn)品，
適用于集成電路制造、化合物半導體等領域。
主要特點：
l 支持6/8/12吋wafer
l 可定制化兼容Frame產(chǎn)品
l 支持透明/非透明襯底片檢測
l 可檢測缺陷類型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等
l 具備晶圓全表面檢測、自動缺陷檢測分類以及高分辨率的缺陷復查功能
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