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單片式-預(yù)熱環(huán) Si外延設(shè)備零部件品牌
志橙半導(dǎo)體產(chǎn)地
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| 產(chǎn)品介紹及用途： | 處于Si外延襯底托盤外圈，用于?；鶞?zhǔn)、加熱 |
| 產(chǎn)品所處設(shè)備位置： | 反應(yīng)腔內(nèi)，非直接接觸晶圓 |
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