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高精度二維晶體定向儀利用X射線衍射(XRD)原理, 通過測量晶體繞法線轉動到不同方位角的Bragg角變化,反演局部晶體表面與鏡面夾角△θ,并通過二維掃描實現(xiàn)對整個晶體面△θ的描繪,*終實現(xiàn)二維,晶體面型誤差的檢測。
●結構緊湊,集成度高
●可進行系統(tǒng)集成服務
●具有空間分辨,實現(xiàn)二維檢測
●軟件界面友好,人機交互性強
●通過幾何關系反演,精度高
●不依賴標準晶片標定0位,減少系統(tǒng)誤差
光源 | 1.2kWX射線光管,靶材可訂制 |
探測器 | 強度探測器(點探) |
**晶體口徑 | Φ150mm |
面形檢測精度 | 0.01° |
二維掃描分辨率 | 0.1mm |
暫無數(shù)據(jù)!