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高精度二維晶體定向儀利用X射線衍射(XRD)原理, 通過測量晶體繞法線轉(zhuǎn)動到不同方位角的Bragg角變化,反演局部晶體表面與鏡面夾角△θ,并通過二維掃描實現(xiàn)對整個晶體面△θ的描繪,*終實現(xiàn)二維，晶體面型誤差的檢測。
●結(jié)構(gòu)緊湊，集成度高
●可進(jìn)行系統(tǒng)集成服務(wù)
●具有空間分辨，實現(xiàn)二維檢測
●軟件界面友好，人機交互性強
●通過幾何關(guān)系反演，精度高
●不依賴標(biāo)準(zhǔn)晶片標(biāo)定0位，減少系統(tǒng)誤差
| 光源 | 1.2kWX射線光管，靶材可訂制 |
| 探測器 | 強度探測器(點探) |
| **晶體口徑 | Φ150mm |
| 面形檢測精度 | 0.01° |
| 二維掃描分辨率 | 0.1mm |
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