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HON-N-S/W/VVV系列氮?dú)饧兓?/span>品牌
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系列 Series | 雜質(zhì) Impurity | 入口 Inlet（ppm） | 出口 Outlet（ppb） |
HON-N-S/W/VVV | O2 | ＜3 | ＜1 |
H2 | ＜1 | ＜1 | |
CO | ＜1 | ＜1 | |
CO2 | ＜1 | ＜1 | |
THC | -- | -- | |
H2O | ＜3 | ＜1 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | ＜1bar | ||
Flow | 10～20000Nm3/h | ||
工藝介紹：
物理吸附脫除CO2、H2O 、H2，化學(xué)吸附脫除O2、CO雜質(zhì)。
吸附反應(yīng)器吸附飽和后可通氫加熱再生，反復(fù)使用。
多柱交替吸附、再生，可連續(xù)供氣。
應(yīng)用領(lǐng)域：
集成電路制造行業(yè)
半導(dǎo)體、LED、激光、太陽(yáng)能光伏行業(yè)
光纖行業(yè)
化工行業(yè)
高純氣體分析
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