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日本樫山工業(yè)Kashiyama干式真空泵SDE303X
日本樫山工業(yè)Kashiyama干式真空泵SDE303X

參考價格

1-5萬元

型號

SDE303X

品牌

日本樫山工業(yè)Kashiyama

產(chǎn)地

日本

樣本

暫無
深圳秋山工業(yè)設備有限公司

金牌會員

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第1年

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    其他
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    其他
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    其他
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    其他
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日本樫山工業(yè)(Kashiyama)生產(chǎn)的干式真空泵SDE303X具有以下特點:

  1. 無油干式技術:采用螺桿式/爪式轉子結構,通過精密嚙合轉子實現(xiàn)氣體壓縮,全程無潤滑油,避免油蒸氣污染,適合敏感工藝如晶圓加工。

  2. 抽速范圍:10~1,500 m3/h,極限真空 0.1 Pa(0.001 mbar)。

  3. 耐腐蝕設計:轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層,耐受酸性氣體(如HCl、Cl?)和顆粒物。

  4. 節(jié)能高效:變頻驅動(VFD)調(diào)節(jié)轉速,能耗較油封泵降低30%~50%。

  5. 智能控制與監(jiān)控:實時參數(shù)顯示,包括真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù),這些數(shù)據(jù)可以通過觸摸屏或遠程接口(Modbus/以太網(wǎng))輸出。自診斷系統(tǒng),振動、溫度傳感器預警異常(如過載或異物進入),自動停機保護

  6. 典型應用場景:半導體與電子、化工與制藥、新能源等領域。


創(chuàng)新點

日本樫山工業(yè)(Kashiyama)生產(chǎn)的干式真空泵SDE303X具有以下特點:
無油干式技術:采用螺桿式/爪式轉子結構,通過精密嚙合轉子實現(xiàn)氣體壓縮,全程無潤滑油,避免油蒸氣污染,適合敏感工藝如晶圓加工。
抽速范圍:10~1,500 m3/h,極限真空 0.1 Pa(0.001 mbar)。
耐腐蝕設計:轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層,耐受酸性氣體(如HCl、Cl?)和顆粒物。
節(jié)能高效:變頻驅動(VFD)調(diào)節(jié)轉速,能耗較油封泵降低30%~50%。
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