參考價(jià)格
1-5萬元型號
SDE303X品牌
日本樫山工業(yè)Kashiyama產(chǎn)地
日本樣本
暫無出口直徑（mm）：
不限進(jìn)口直徑（mm）：
不限泵軸位置：
其他驅(qū)動(dòng)方式：
其他輸送物料：
粉體連接方式：
其他材質(zhì)：
其他口徑：
不限壓力：
不限設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)：
不限
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日本樫山工業(yè)（Kashiyama）生產(chǎn)的干式真空泵SDE303X具有以下特點(diǎn)：
無油干式技術(shù)：采用螺桿式/爪式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，通過精密嚙合轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽速范圍：10~1,500 m3/h，極限真空 0.1 Pa（0.001 mbar）。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，耐受酸性氣體（如HCl、Cl?）和顆粒物。
節(jié)能高效：變頻驅(qū)動(dòng)（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，能耗較油封泵降低30%~50%。
智能控制與監(jiān)控：實(shí)時(shí)參數(shù)顯示，包括真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)可以通過觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus/以太網(wǎng)）輸出。自診斷系統(tǒng)，振動(dòng)、溫度傳感器預(yù)警異常（如過載或異物進(jìn)入），自動(dòng)停機(jī)保護(hù)。
典型應(yīng)用場景：半導(dǎo)體與電子、化工與制藥、新能源等領(lǐng)域。
日本樫山工業(yè)（Kashiyama）生產(chǎn)的干式真空泵SDE303X具有以下特點(diǎn)：
無油干式技術(shù)：采用螺桿式/爪式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，通過精密嚙合轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽速范圍：10~1,500 m3/h，極限真空 0.1 Pa（0.001 mbar）。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，耐受酸性氣體（如HCl、Cl?）和顆粒物。
節(jié)能高效：變頻驅(qū)動(dòng)（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，能耗較油封泵降低30%~50%。
智能控制與監(jiān)控：實(shí)時(shí)參數(shù)顯示，包括真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)可以通過觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus/以太網(wǎng)）輸出。自診斷系統(tǒng)，振動(dòng)、溫度傳感器預(yù)警異常（如過載或異物進(jìn)入），自動(dòng)停機(jī)保護(hù)。
典型應(yīng)用場景：半導(dǎo)體與電子、化工與制藥、新能源等領(lǐng)域。
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