參考價格
1-5萬元型號
SDE303X品牌
日本樫山工業(yè)Kashiyama產(chǎn)地
日本樣本
暫無設計標準:
不限出口直徑(mm):
不限進口直徑(mm):
不限泵軸位置:
其他驅動方式:
其他輸送物料:
粉體連接方式:
其他材質:
其他口徑:
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日本樫山工業(yè)(Kashiyama)生產(chǎn)的干式真空泵SDE303X具有以下特點:
無油干式技術:采用螺桿式/爪式轉子結構,通過精密嚙合轉子實現(xiàn)氣體壓縮,全程無潤滑油,避免油蒸氣污染,適合敏感工藝如晶圓加工。
抽速范圍:10~1,500 m3/h,極限真空 0.1 Pa(0.001 mbar)。
耐腐蝕設計:轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層,耐受酸性氣體(如HCl、Cl?)和顆粒物。
節(jié)能高效:變頻驅動(VFD)調(diào)節(jié)轉速,能耗較油封泵降低30%~50%。
智能控制與監(jiān)控:實時參數(shù)顯示,包括真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù),這些數(shù)據(jù)可以通過觸摸屏或遠程接口(Modbus/以太網(wǎng))輸出。自診斷系統(tǒng),振動、溫度傳感器預警異常(如過載或異物進入),自動停機保護。
典型應用場景:半導體與電子、化工與制藥、新能源等領域。
日本樫山工業(yè)(Kashiyama)生產(chǎn)的干式真空泵SDE303X具有以下特點:
無油干式技術:采用螺桿式/爪式轉子結構,通過精密嚙合轉子實現(xiàn)氣體壓縮,全程無潤滑油,避免油蒸氣污染,適合敏感工藝如晶圓加工。
抽速范圍:10~1,500 m3/h,極限真空 0.1 Pa(0.001 mbar)。
耐腐蝕設計:轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層,耐受酸性氣體(如HCl、Cl?)和顆粒物。
節(jié)能高效:變頻驅動(VFD)調(diào)節(jié)轉速,能耗較油封泵降低30%~50%。
智能控制與監(jiān)控:實時參數(shù)顯示,包括真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù),這些數(shù)據(jù)可以通過觸摸屏或遠程接口(Modbus/以太網(wǎng))輸出。自診斷系統(tǒng),振動、溫度傳感器預警異常(如過載或異物進入),自動停機保護。
典型應用場景:半導體與電子、化工與制藥、新能源等領域。