參考價格
1-5萬元型號
SDE303X品牌
日本樫山工業(yè)Kashiyama產(chǎn)地
日本樣本
暫無設計標準：
不限出口直徑（mm）：
不限進口直徑（mm）：
不限泵軸位置：
其他驅動方式：
其他輸送物料：
粉體連接方式：
其他材質：
其他口徑：
不限壓力：
不限
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日本樫山工業(yè)（Kashiyama）生產(chǎn)的干式真空泵SDE303X具有以下特點：
無油干式技術：采用螺桿式/爪式轉子結構，通過精密嚙合轉子實現(xiàn)氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽速范圍：10~1,500 m3/h，極限真空 0.1 Pa（0.001 mbar）。
耐腐蝕設計：轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，耐受酸性氣體（如HCl、Cl?）和顆粒物。
節(jié)能高效：變頻驅動（VFD）調(diào)節(jié)轉速，能耗較油封泵降低30%~50%。
智能控制與監(jiān)控：實時參數(shù)顯示，包括真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)可以通過觸摸屏或遠程接口（Modbus/以太網(wǎng)）輸出。自診斷系統(tǒng)，振動、溫度傳感器預警異常（如過載或異物進入），自動停機保護。
典型應用場景：半導體與電子、化工與制藥、新能源等領域。
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無油干式技術：采用螺桿式/爪式轉子結構，通過精密嚙合轉子實現(xiàn)氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽速范圍：10~1,500 m3/h，極限真空 0.1 Pa（0.001 mbar）。
耐腐蝕設計：轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，耐受酸性氣體（如HCl、Cl?）和顆粒物。
節(jié)能高效：變頻驅動（VFD）調(diào)節(jié)轉速，能耗較油封泵降低30%~50%。
智能控制與監(jiān)控：實時參數(shù)顯示，包括真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)可以通過觸摸屏或遠程接口（Modbus/以太網(wǎng)）輸出。自診斷系統(tǒng)，振動、溫度傳感器預警異常（如過載或異物進入），自動停機保護。
典型應用場景：半導體與電子、化工與制藥、新能源等領域。
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移動端
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