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面議型號
F-REX200M2品牌
上海荏原產(chǎn)地
上海樣本
暫無粉碎程度：
其他單位能耗：
-產(chǎn)量：
-裝機(jī)功率（kw）：
-成品細(xì)度：
-入料粒度（mm）：
-工作原理：
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產(chǎn)品特點(diǎn)
干進(jìn)干出
有支持大批量生產(chǎn)的多樣輔助設(shè)備
優(yōu)越的工藝性能
研磨終點(diǎn)檢出監(jiān)視器(可選)
在線膜厚測定儀(可選)
Model F-REX系列 本裝置是用于無塵室中對半導(dǎo)體晶元表面進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨的CMP設(shè)備。設(shè)備具備經(jīng)市場證明了的高度可靠以及優(yōu)越的過程處理性能,并能對各個(gè)客戶的特殊規(guī)格要求進(jìn)行靈活應(yīng)對。
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