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設備配置說明：
設備類型：Cassette-type & Cassetteless-type，支持SMIF或Foup 晶圓尺寸：150mm, 200mm, 300mm 設備配置：8~12 個槽體, 2~6 個Robot（可定制） 可搭載先進超聲波, 兆聲波 槽體過溫保護, 各Module配置漏液傳感器 多級Wafer保護措施 支持化學液C.C.S.S / L.C.S.S 自動換酸, 自動補液、配液( 可兼容多種濃度配比 先進Marangoni干燥 加熱控制, 濃度控制, 流量控制, 壓力控制 化學液/水, 直排&回收 可靠性能：Uptime≥95% Breakage≤1/10000 MTBF≥720hours MTTR≤3 hours 軟件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC功能
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