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Omega 9880 無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備品牌
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·無圖形晶圓襯底/外延無損檢測設(shè)備：
·自研高解析度成像系統(tǒng)，集成明場（含DIC）/暗場/PL等通道，對(duì)襯底、外延缺陷均可清晰成像；
·PL光路高效率激發(fā)、多通道采集、高精度成像，晶格缺陷成像更清晰、細(xì)節(jié)更豐富；
·可選背檢工位，全方位檢測襯底或外延片背部和側(cè)邊宏觀缺陷；
·具備白點(diǎn)檢測、Hazemap輸出、自定義檢測規(guī)則、單輪測試多DY2分析輸出等特色功能；
·支持襯底、外延、芯片全制程段缺陷疊圖，提供*全面的缺陷失效分析能力。
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