国产精品久久久久久爽爽爽,变态拳头交视频一区二区,国产高清在线精品一区二区三区,国产福利一区二区三区在线视频 ,国产极品久久久久久久久

硬件規(guī)格

◆恒溫區(qū)長度:2800mm

◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)

◆**溫度:1050℃

◆溫度均勻性:800℃~1050℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:軟著陸

◆槳的**承重量:70kg

◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管

主要特點(diǎn)

◆產(chǎn)能:1400~1680pcs/管

◆管數(shù):6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)

◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自動(dòng)化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案

工藝規(guī)范

◆方阻值:50~350Ω/cmsg

◆極限真空:≤20mbar

◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)

優(yōu)勢

◆快速的工藝認(rèn)證，可以極高的提升生產(chǎn)

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆方形插片軟著陸工藝，均勻性好，技術(shù)方案成熟穩(wěn)定

◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù),確保設(shè)備長期穩(wěn)定使用

硬件規(guī)格

◆恒溫區(qū)長度:2800mm

◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)

◆**溫度:1050℃

◆溫度均勻性:800℃~1050℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:軟著陸

◆槳的**承重量:70kg

◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管

主要特點(diǎn)

◆產(chǎn)能:1400~1680pcs/管

◆管數(shù):6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)

◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自動(dòng)化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案

工藝規(guī)范

◆方阻值:50~350Ω/cmsg

◆極限真空:≤20mbar

◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)

優(yōu)勢

◆快速的工藝認(rèn)證，可以極高的提升生產(chǎn)

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆方形插片軟著陸工藝，均勻性好，技術(shù)方案成熟穩(wěn)定

◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù),確保設(shè)備長期穩(wěn)定使用