由中科院上海光機(jī)所信息光學(xué)開放實(shí)驗(yàn)室承擔(dān)的上海市納米專項(xiàng)項(xiàng)目“納米位移傳感技術(shù)的研究”經(jīng)過課題組全體研究人員的齊心協(xié)力，艱苦奮斗，取得了好成果。6月20日，上海市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)和上海市納米科技與產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進(jìn)中心在中科院上海光機(jī)所主持召開鑒定會(huì)，對(duì)該項(xiàng)目的科技成果進(jìn)行了鑒定。
鑒定委員會(huì)有中國(guó)計(jì)量學(xué)院院長(zhǎng)莊松林院士、國(guó)家973計(jì)劃MEMS項(xiàng)目首席科學(xué)家王躍林教授、孫麟治教授(上海大學(xué))、黃宜平教授(復(fù)旦大學(xué))、王慶康教授(上海交通大學(xué))、姜志華高級(jí)工程師(上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院)和馬軍山副教授(上海理工大學(xué))等相關(guān)領(lǐng)域?qū)＜医M成。
該項(xiàng)目的研發(fā)成功，為微加工、微制造及相關(guān)領(lǐng)域提供了一種有效的納米精度微位移實(shí)時(shí)檢測(cè)手段；為微位移的在線校正與實(shí)時(shí)控制提供了一種有效的亞納米分辨率傳感手段。該項(xiàng)目的研究在航空、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、汽車等領(lǐng)域中微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的高精度測(cè)試和傳感方面具有廣闊的應(yīng)用前景。實(shí)現(xiàn)物體微位移的亞納米分辨率實(shí)時(shí)傳感，在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、微加工、微制造及相關(guān)領(lǐng)域具有至關(guān)重要的意義。亞納米分辨率微位移傳感器與調(diào)節(jié)、執(zhí)行等單元結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)微器件的高精度在線檢測(cè)、在線校正與實(shí)時(shí)控制。物體微位移亞納米分辨率傳感技術(shù)的研究在國(guó)際上一直受到高度重視，在國(guó)內(nèi)此領(lǐng)域的研究尚為空白。
上海光機(jī)所信息光學(xué)開放實(shí)驗(yàn)室王向朝研究員領(lǐng)導(dǎo)的課題組經(jīng)過一年半的艱苦努力，將實(shí)時(shí)鑒相、反饋抗干擾等技術(shù)與國(guó)際前沿的正弦相位調(diào)制干涉測(cè)量技術(shù)結(jié)合，研究開發(fā)了一種新型的微位移傳感技術(shù)。在此基礎(chǔ)上該課題組成功研制出了納米位移傳感器樣機(jī)。此樣機(jī)可以在有外界干擾的情況下，亞納米分辨率將微小物體隨時(shí)間緩慢或迅速變化的微位移轉(zhuǎn)換成與之一一對(duì)應(yīng)的電信號(hào)，實(shí)現(xiàn)了物體微位移的亞納米分辨率傳感。該樣機(jī)經(jīng)華東國(guó)家計(jì)量測(cè)試中心上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)，其微位移測(cè)量重復(fù)精度<2納米，測(cè)量分辨率達(dá)到亞納米量級(jí)(<1納米)。該項(xiàng)目申請(qǐng)國(guó)家專利10項(xiàng)。發(fā)表學(xué)術(shù)論文21篇，其中國(guó)外雜志論文3篇，國(guó)際會(huì)議論文3篇，國(guó)內(nèi)雜志論文14篇，國(guó)內(nèi)特邀報(bào)告1篇。
以上研究成果表明：該項(xiàng)目組研制成功的納米位移傳感器樣機(jī)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，申請(qǐng)了專利10項(xiàng)，技術(shù)性能達(dá)到任務(wù)指標(biāo)，該樣機(jī)的重復(fù)測(cè)量精度與測(cè)量分辨率研究指標(biāo)屬國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。鑒定委員會(huì)一致通過了對(duì)該項(xiàng)目的鑒定并給予高度評(píng)價(jià)。
鑒定委員會(huì)有中國(guó)計(jì)量學(xué)院院長(zhǎng)莊松林院士、國(guó)家973計(jì)劃MEMS項(xiàng)目首席科學(xué)家王躍林教授、孫麟治教授(上海大學(xué))、黃宜平教授(復(fù)旦大學(xué))、王慶康教授(上海交通大學(xué))、姜志華高級(jí)工程師(上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院)和馬軍山副教授(上海理工大學(xué))等相關(guān)領(lǐng)域?qū)＜医M成。
該項(xiàng)目的研發(fā)成功，為微加工、微制造及相關(guān)領(lǐng)域提供了一種有效的納米精度微位移實(shí)時(shí)檢測(cè)手段；為微位移的在線校正與實(shí)時(shí)控制提供了一種有效的亞納米分辨率傳感手段。該項(xiàng)目的研究在航空、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、汽車等領(lǐng)域中微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的高精度測(cè)試和傳感方面具有廣闊的應(yīng)用前景。實(shí)現(xiàn)物體微位移的亞納米分辨率實(shí)時(shí)傳感，在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、微加工、微制造及相關(guān)領(lǐng)域具有至關(guān)重要的意義。亞納米分辨率微位移傳感器與調(diào)節(jié)、執(zhí)行等單元結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)微器件的高精度在線檢測(cè)、在線校正與實(shí)時(shí)控制。物體微位移亞納米分辨率傳感技術(shù)的研究在國(guó)際上一直受到高度重視，在國(guó)內(nèi)此領(lǐng)域的研究尚為空白。
上海光機(jī)所信息光學(xué)開放實(shí)驗(yàn)室王向朝研究員領(lǐng)導(dǎo)的課題組經(jīng)過一年半的艱苦努力，將實(shí)時(shí)鑒相、反饋抗干擾等技術(shù)與國(guó)際前沿的正弦相位調(diào)制干涉測(cè)量技術(shù)結(jié)合，研究開發(fā)了一種新型的微位移傳感技術(shù)。在此基礎(chǔ)上該課題組成功研制出了納米位移傳感器樣機(jī)。此樣機(jī)可以在有外界干擾的情況下，亞納米分辨率將微小物體隨時(shí)間緩慢或迅速變化的微位移轉(zhuǎn)換成與之一一對(duì)應(yīng)的電信號(hào)，實(shí)現(xiàn)了物體微位移的亞納米分辨率傳感。該樣機(jī)經(jīng)華東國(guó)家計(jì)量測(cè)試中心上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)，其微位移測(cè)量重復(fù)精度<2納米，測(cè)量分辨率達(dá)到亞納米量級(jí)(<1納米)。該項(xiàng)目申請(qǐng)國(guó)家專利10項(xiàng)。發(fā)表學(xué)術(shù)論文21篇，其中國(guó)外雜志論文3篇，國(guó)際會(huì)議論文3篇，國(guó)內(nèi)雜志論文14篇，國(guó)內(nèi)特邀報(bào)告1篇。
以上研究成果表明：該項(xiàng)目組研制成功的納米位移傳感器樣機(jī)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，申請(qǐng)了專利10項(xiàng)，技術(shù)性能達(dá)到任務(wù)指標(biāo)，該樣機(jī)的重復(fù)測(cè)量精度與測(cè)量分辨率研究指標(biāo)屬國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。鑒定委員會(huì)一致通過了對(duì)該項(xiàng)目的鑒定并給予高度評(píng)價(jià)。
