中國粉體網(wǎng)訊  石英玻璃材料及制品廣泛應用于半導體芯片制程中，是半導體蝕刻、擴散、氧化等工序所需的承載器件與腔體耗材。其中高純不透明石英玻璃是石英玻璃分類中的一個重要產(chǎn)品，是以石英砂、發(fā)泡劑、白炭黑等為原料按一定比例混合，加熱成型，總雜質(zhì)含量不大于30μg/g的不透明石英玻璃，其除在純度、熱學、耐化學侵蝕等方面具有普通石英玻璃突出的優(yōu)異性能外，還具有獨特的隔熱性能。

20世紀90年代，日本信越、東曹，德國賀利氏等跨國企業(yè)已生產(chǎn)高純不透明石英玻璃，并在之后長達二十多年一直處于壟斷地位。近幾年，國內(nèi)石英玻璃生產(chǎn)企業(yè)通過技術攻關，掌握了生產(chǎn)工藝，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)步提升，已達國外產(chǎn)品水平。

菲利華不透明石英玻璃

湖北菲利華石英玻璃股份有限公司是我國石英玻璃龍頭企業(yè)，公司主要從事高性能石英玻璃、石英纖維及復合材料的研發(fā)生產(chǎn)，主要服務于半導體、光通訊、光伏太陽能、高端光學及航空航天等高新技術領域。

據(jù)菲利華2023年年報，在石英玻璃材料及制品板塊，公司研發(fā)成功了高純電熔不透明石英、黑石英、低羥基和少羥基合成石英玻璃，成為先進半導體制程中的關鍵材料。

2024年3月，菲利華申請了《一種高純不透明石英玻璃的制造方法》的專利，申請涉及一種高純不透明石英玻璃的制造方法，屬石英玻璃生產(chǎn)技術領域。該高純不透明石英玻璃的制造方法通過調(diào)控石英砂的粒度能調(diào)節(jié)石英砂之間的孔隙的方式能有效調(diào)控成品中氣孔的平均直徑和豐度，從而有效控制成品的密度和遮光率，使得成品具有較長的使用壽命和良好的熱阻斷性。解決了現(xiàn)有生產(chǎn)方式不能控制氣孔直徑和豐度，導致成品的密度和遮光性低的問題。此種高純不透明石英玻璃的制造方法主要包括以下步驟：

菲利華.一種高純不透明石英玻璃的制造方法

（1）對石英砂破碎篩分獲得石英砂細粒；

（2）向球磨機中加入石英砂細粒和去離子水進行濕磨獲得漿料；

（3）去除漿料中的磨球，向漿料中加入乳酸，旋轉均化至無明顯沉降；

（4）將漿料注入模具中，脫水后脫模獲得多孔的生坯；

（5）對生坯靜置后，恒溫干燥；

（6）對干燥的生坯燒結獲得成品。

菲利華官網(wǎng)介紹了兩種電熔不透明石英玻璃產(chǎn)品。

電熔不透明石英 FSTQZ®B

菲利華電熔不透明石英 FSTQZ®B

黑色石英玻璃材料同時具備高純度、高光學吸收率、高發(fā)射率以及低熱導率，因此可提高工藝環(huán)境的熱均勻性，屏蔽過程中向外輻射熱量，從而增加熱管理的自由度。此外，較其他黑色陶瓷其加工性能更優(yōu)。

電熔不透明石英 FSTQZ®B物理性能

電熔不透明石英 FSTQZ®W

菲利華電熔不透明石英 FSTQZ®W

電熔不透明石英玻璃擁有低透過率，高熱反射率，可以有效地降低熱損失，并能延長加熱部件的壽命。該材料可以進行焊接、火拋光以及高精度光學拋光處理，擁有高密度，優(yōu)異的機加光潔度，火拋后良好的光潔度，更長的使用壽命。適用于半導體熱處理制程。

電熔不透明石英 FSTQZ®W物理性能

2024年11月21-22日，由中國粉體網(wǎng)主辦的“2024（第八屆）全國石英大會暨展覽會”將在江蘇徐州召開，湖北菲利華石英玻璃股份有限公司研發(fā)工程師胡世浩將做《電熔不透明石英玻璃在半導體領域的應用》的報告，屆時，他將結合菲利華研發(fā)經(jīng)驗詳細介紹半導體用電熔不透明石英玻璃的制備方法及性能要求。

參考來源：

劉煥敏.GB/T 42800-2023《高純不透明石英玻璃》標準解讀

中國專利公布公告.一種高純不透明石英玻璃的制造方法

菲利華官網(wǎng)、年報

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）

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