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超納材料是尺寸小于10nm的納米材料的下一代革命性材料技術，具有反常于納米材料的超小尺寸效應，在半導體精密拋光、光罩缺陷修復、光學精密加工、量子計算、生物醫(yī)藥、航空航天航海、人工智能等方面有廠泛的應用前景，在化學、物理、材料、生物、量子等領域具有研究價值和應用價值。

蘇州極鉆納米科技有限責任公司創(chuàng)立于2024年4月，作為超納材料高新技術的先鋒，公司以半導體產(chǎn)品與車規(guī)新能源材料雙輪驅(qū)動，構建起以研發(fā)為主導、生產(chǎn)、銷售、進出口為一體的產(chǎn)學研結合新星企業(yè)，專注于硬科技、卡脖子、國產(chǎn)替代的戰(zhàn)略布局。

在拋光液領域，公司已取得顯著成果。拋光液是化學機械拋光的重要組成部分，在拋光過程中，拋光液中的氧化劑、表面活性劑等與工件發(fā)生化學反應，使工件表面軟化；拋光液中的磨粒會對工件的軟化層進行機械磨削，使未反應的材料表面暴露出來，進而確保了材料表面的化學反應進行下去。公司現(xiàn)有產(chǎn)品包括超納金剛石精拋液、金剛石量子點基拋光材料和金剛石量子點基混合拋光材料，規(guī)劃產(chǎn)品有超納磁流變液、微納金剛石砂輪、光罩保護膜、金剛石保護膜、金剛石刀具、金剛石單光子器件、雙極板、核電池等相關產(chǎn)品與服務。

公司聚焦半導體制造關鍵耗材國產(chǎn)化，通過技術創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，提供高精度、低成本的半導體化學物理拋光耗材，滿足高端市場需求。極鉆納米致力于研發(fā)拋光顆粒粒徑控制在2-5nm之間（分布誤差±0.5nm），達到行業(yè)最小尺寸極限，完成拋光精度表面粗糙度達0.1nm（原子級），面型精度優(yōu)于40nm，缺陷40nm小于10顆。公司通過宏微觀算法模型優(yōu)化CMP工藝參數(shù)，提升拋光效率并降低生產(chǎn)成本，預計在三年內(nèi)申請發(fā)明專利5項，國際發(fā)明2項，融資3000萬元人民幣，用于原材料、生產(chǎn)設備、檢驗設備投資。將團隊擴充至50人，建設500平無塵生產(chǎn)車間。相關項目預計在2025年實現(xiàn)500萬元銷售收入，2026年實現(xiàn)1000萬的銷售收入，2027年實現(xiàn)2000萬的銷售收入。

研磨拋光技術在集成電路芯片的制作中具有重要作用，針對高端研磨拋光相關的技術、材料、設備、市場等方面的問題，中國粉體網(wǎng)將于2025年4月16日在河南鄭州舉辦2025第二屆高端研磨拋光材料技術大會。屆時，蘇州極鉆納米科技有限公司董事長劉添彪將作題為《超納金剛石光罩精拋液材料與算法研發(fā)產(chǎn)業(yè)化》的報告。

專家簡介：

劉添彪，男，31歲，擁有3年半導體材料和設備研發(fā)經(jīng)驗，專注于掩膜版新材料研發(fā)、工藝優(yōu)化及項目管理。熟悉i-line、KrF、ArF、EUV掩膜版技術，具備超精細研磨拋光、離子束拋光及飛秒激光加工等先進技術的實踐經(jīng)驗。在高純靶材國產(chǎn)化、光刻膠開發(fā)等“卡脖子”技術領域取得突破性成果，撰寫多篇專利，并與國內(nèi)龍頭企業(yè)合作推動技術落地。具備扎實的材料科學背景，熟練掌握多種材料表征和測試技術，如高壓原位拉曼光譜、同步輻射等。責任心強，創(chuàng)新能力突出，善于團隊協(xié)作與問題解決，致力于通過技術創(chuàng)新推動半導體材料國產(chǎn)化進程。

參考來源：

[1]中國粉體網(wǎng)

[2]賀祥等，混合磨粒 CMP 拋光液的制備及拋光效果研究

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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